英特尔安装业界首台商业化高NA EUV光刻机——ASML Twinscan EXE:5200B 为14A铺路

Source: Tom’s Hardware

英特尔验证了 ASML 的 TWINSCAN EXE:5200B

英特尔已安装并验证了 ASML 的 TWINSCAN EXE:5200B，这是一款专为商业生产设计的首台高 NA EUV 光刻机，重申了英特尔将在 14A 制程技术及以后使用高 NA EUV 图形化的计划。