3天前 · it 美国政府向 Gelsinger 支持的 EUV 开发商 xLight 授予 1.5亿美元联邦激励——公司将开发用于光刻工具的新型电子束光源 美国政府将向xLight注入最高1.5亿美元,该初创公司正在开发基于粒子加速器的EUV光源,首批资金来自CHIPS和Science……