Intel, 업계 최초 상업용 High‑NA EUV 리소그래피 도구 설치 — ASML Twinscan EXE:5200B가 14A 시대를 열다
발행: (2025년 12월 17일 오후 09:25 GMT+9)
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원문: Tom's Hardware
Source: Tom’s Hardware
Intel, ASML의 TWINSCAN EXE:5200B를 인증
Intel은 상업용 생산을 위해 설계된 최초의 High‑NA EUV 리소그래피 도구인 ASML의 TWINSCAN EXE:5200B를 설치하고 인증했으며, 14A 공정 기술 및 그 이후에 High‑NA EUV 패터닝을 사용할 계획임을 재확인했습니다.